类型:气体捕集泵 | 品牌:爱德华 | 型号:ixH3030T |
材质:铸铝 | 用途:化工泵 | 原理:螺杆泵 |
真空度:高真空度 | 驱动方式:电动 | 性能:耐腐蚀 |
功率:5.5kw | 极限压力:0.1pa | 泵轴位置:卧式 |
抽气速率:3030l/s | 抽气量:3030 | 最大工作压强:3030 |
重量:450kg | 电压:380V | 排出口径:100mm |
扬程:30m | 流量:3030m3/h | 叶轮数目:2 |
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iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的,为严苛制程能力 树立了新标准,它在上的许多 300mm 半导体和平板工厂内通过提高制程性实现低成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。
iXH 泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
Edwards爱德华IXH系列半导体真空泵:IXH200、IXH200H、IXH500H、IXH500Q、
IXH610、IXH645H、IXH1210、IXH1220H、 IXH 1820、 IXH1820H、IXH1820T、
IXH3030、IXH3030T、 IXH3045H、IXH4545H、IXH4545HT、IXH6045H、 IXH6045HT、
IXH450H、PXH4500HT、PXH6000、 IXL500Q、IXL500R
Edwards爱德华GXS系列大型工业干式泵: GXS160、GXS250、GXS160/1750、GXS250/2600、
GXS450、GXS450/2600、GXS450/4200、GXS750、 GXS750/2600、GXS750/4200
BOC Edwards爱德华EM 系列 :(大型油封式真空泵)
东莞科创真空机电有限公司
E2M28,E2M40,E2M80,E2M175,E2M275
Edwards爱德华GV系列: GV80、GV160、GV250、GV600